全球半導體微影技術廠商艾司摩爾 (ASML) 於 20 日舉行 「EUV (極紫外光) 全球技術培訓中心」 開幕典禮。該培訓中心座落於台南科學園區，占地 1,625 平方公尺，配備實機模組 (live module)，提供技術理論課程和無塵室實機操作課程等多元化培訓內容，總投資金額達到 1,350 萬歐元 (約新台幣 4.74 億元)。該中心目前配置 14 位講師，估計每年可提供數千小時的課程，為 ASML 和其客戶培育 360 位 EUV 技術工程師。而培訓中心設立之後， ASML 在台灣的研發團隊人數也預計在 3 年內由原本的 280 人，提升至 500 人。
ASML 全球副總裁暨台灣區總經理陳文光表示，感謝南科管理局、相關政府單位與客戶及夥伴的支持與協助。ASML EUV 全球技術培訓中心的落成將可為半導體產業提供更完整的服務，使得 ASML 與全球半導體產業及客戶共同成長。
ASML 指出，自 2010 年提供第一台 EUV 微影設備原型機給台積電進行研發工作開始，就為全球微影技術開創新紀元。2017 年，ASML 再交付第一台量產型 EUV 微影系統 TWINSCAN NXE:3400 給台積電，寫下商用 EUV 製程技術的新里程。至今，台灣的 EUV 裝機規模領先全球。因此，ASML 在台南成立 EUV全球技術培訓中心不僅讓使得公司在台灣的營運和服務項目更多樣化，更實現了全力支援客戶先進製程開發與量產的承諾。
ASML 進一步指出，將一個新手工程師培育成為技術熟稔、可獨自作業的 EUV 工程師需歷經 18 個月的訓練。過去，全球的 EUV 工程師，即使只負責部分專業技術，都必須前往 ASML 荷蘭總部接受長達數月的培訓。隨著新冠肺炎疫情為全球差旅工作增添許多限制與不確定性，因此位於台南的 EUV 全球技術培訓中心為台灣 ASML 與客戶提供了一個相對安全且經濟的培訓方式。而 ASML 也在南韓設有 EUV 技術培訓中心，為新進工程師提供 EUV 基礎訓練課程，以滿足與日俱增的客戶需求。
ASML 是台灣半導體產業與客戶的重要策略夥伴。自 1988 年交付第一台微影系統予台灣客戶後，ASML 於 2003 年正式在新竹成立台灣總部辦公室，就近提供客戶技術支援服務，爾後逐步擴大在台營運。至今，ASML 在林口、新竹、台中、台南設有客戶支援辦公室，並於林口和台南設立工廠。其中，林口廠負責機台翻修、光罩傳輸 (Reticle Handler) 模組生產與 YieldStar 光學量測設備生產，台南廠則專注於電子束 (ebeam) 和多光束 (multi-beam) 檢測設備製造。目前，ASML 在台灣的員工約 2,800 人，並持續伴隨台灣半導體產業共同成長。
而目前使用 ASML 的 EUV 設備最多數量的晶圓代工龍頭台積電，其晶圓廠營運副總經理王英郎則表示，台積電與 ASML 在進行 EUV 設備的合作已經長達 10 年之久，互相是最緊密的合作夥伴。而因為當前最先進製程所打造的晶片必須在一個人類指甲大小的晶片上，最多放入 100 億個電晶體，這就意味著每個電晶體的大小僅有手中細菌的千分之一大小。而要在在如此小的面積內植入為數眾多，且體積精細的電晶體，就必須要依賴 EUV 設備。因此，近來在晶片中植入的電晶體數能有短短數年間從 1 億個發展到 100 億個，這都要非常感謝 ASML 開發出這樣的設備，讓摩爾定律得以繼續延續。
王英郎進一步指出，因為 EUV 是當前先進製程的重要關鍵，所以在台積電斥巨資購買數倍的情況下，人員的操作讓 EUV 能發揮最大的功效就極其重要。因此，過去台積電每年要派遣相關人員到荷蘭 ASML 總公司進行訓練。而因為一次訓練流程就必須耗費 4 到 7 週的時間，不僅要花費大量差旅費用，而且因能訓練能量有限，使得能參與的名額也有限。如今，ASML 在兩年前了解了台積電的需求，進一步來台設立 EUV 技術培訓中心之後，不僅可以加大培訓能量，還使得台積電與 ASML 能有更緊密的合作，使台積電未來在先進製程上的發展能有更多的助益。至於，未來台積電在美國設 5 奈米廠之際，雙方的合作會否比照辦理，這方面王英郎則不表示任何意見。
(首圖來源:科技新報攝)
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August 20, 2020 at 04:47PM
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